優勢和特點
我們的機器人分類機提供您的流程所需的功能。但它們都有一些共同的優點:
- 堅固又安全:我們超過 20 年的模組化系統使用經驗告訴我們:安全性是無法改裝的。這就是為什麼我們所有的機器人分類機都非常堅固和安全。
- 高效能:我們的所有設備都具有高吞吐量。我們在此基礎上也增加了結果的高可重複性和極低的訓練和人員要求。
- 經濟實惠:由於產品成本低廉且我們的系統和所有組件的使用壽命極長,您可以獲得最佳的性價比。
- 可整合:我們所有的機器人分選器都可以快速輕鬆地整合到您的生產線中。
- 諮詢與支援:對於許多供應商來說,系統購買後,關係就結束了。 E+H 則不然:我們經驗豐富的當地經銷商為您提供快速、簡單的支援;我們在德國經驗豐富的工程師團隊也提供規劃和建議、培訓課程和產品資訊。
組件和模組
有哪些模組?很簡單:我們知道您需要什麼。符合最高標準:您的要求!當然還有國際校準標準。以下是目前安裝的模組和應用程式的一些範例:
- 測量模組: E+H 的許多標準 MX 儀表可用於機器人分選機,例如:MX 10x 系列(厚度測量)、MX 20x 系列(幾何/面積:厚度、變形、應力)、MX 60x 系列(厚度、電阻)、MX 70x 系列(厚度、翹曲、波紋度、粗糙度)。
- 機器人處理系統:全自動晶圓傳輸,可用於樣品測量或分類,徑向範圍高達 14.4“ 加上末端執行器,高重複性 +/-25μm,低污染,兼容 1 級潔淨室,單臂和雙臂,末端執行器根據客戶規格製造; MTBF >75,000 小時
- 對準器:高重複性X/Y +/-50μm、θ +/- 0.04° (3 sigma)、MTBF >65,000 小時、符合 1 級潔淨室標準、適用於 3-8“ 或 8“-12“,可選配用於晶圓 ID 的 OCR 讀取器
- 工位:安全放置 2“-12“ 托架,根據您的要求配備托架存在感測器,具有單獨操作和顯示元件的控制面板
- 其他組件: PC 和 TFT、RF 載體 ID 閱讀器、離子產生器、無塵室 1 級過濾系統、裝載口 SMIF、FOUP、燈塔等。
- 軟體:我們所有的 MX 工具系列都使用相同的 Windows 操作軟體 MX-NT V2。可以透過高度靈活且可重複使用的配方根據所獲得的任何特徵進行排序,例如按厚度或 OCR 代碼分組。