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E+H Metrology GmbH
客製化整合
MX 3014-Z
MX 3014-Z
原價
NT$ 0
MX3014-Z 是用於皮帶或機器人運輸晶圓的線上模組。它可以在自動化製造流程之間動態測量厚度。完全自我校準,使用毫不費力。
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規格
Wafer Diameter
100 - 200mm
Accuracy
±1µm
Resolution
0.1µm
Thickness range
200 - 800 µm
Software
EHMaster