MX152/153 是用於傳送帶式晶圓的線上模組。它可以在自動化製造流程之間動態測量厚度、平整度 (TTV) 以及可選的電阻率和 P/N 摻雜。由測量模組、電子架、控制計算機組成。測量值將透過乙太網路和TCP/IP傳輸到主機。
