冲成股份有限公司 JC's Chunson Limited
MX 102-8

MX 102-8

系列1

幾秒鐘內輕鬆適應不同的厚度範圍。可以整合到自動機器人分選系統。 MX102-8 非常適合研究和開發、製程鑑定以及厚度和平整度 (TTV) 的製程控制。 一對電容式感測器在每個晶圓上採集四個徑向輪廓(45 度)樣本。其中一個這樣的輪廓由 200 個局部厚度值組成 ,相對於相鄰的輪廓偏移 45 度。配備我們強大的MX-NT操作軟體。
Wafer Diameter 150mm, 200mm
Accuracy ±0.1 µm
Resolution 10nm
Spartial resolution 1mm
Scans 4
Software MXNT