MX204-8-73-q 可作為手動載入的獨立工具,也可完全整合在自動化機器人系統中。它透過 73 個測量點以高解析度控制厚度、彎曲和翹曲。由於上游有定心站,因此無需轉換即可使用不同尺寸的晶圓。配備我們強大的MX-NT操作軟體。