幾秒鐘內輕鬆適應不同的厚度範圍。可以整合到自動機器人分選系統。 MX1012 非常適合研發、製程鑑定以及厚度和平整度 (TTV) 的製程控制,尤其是在研磨和研磨之後。一對電容式感測器在每個晶圓上取樣四個徑向輪廓(45 度),這些輪廓由數百個局部厚度 值組成。如果您的應用需要,可以簡單地增加四次標準掃描以達到更高的測量覆蓋率。配備我們強大的MX-NT操作軟體。